隨著高真空電子管、高精度檢測以及電子成像等現(xiàn)代技術的發(fā)展,對電子管加熱絲材料的阻值均勻性、高溫力學性能以及高溫穩(wěn)定性提出了更加苛刻的要求,對于材料製備工藝的精確…
隨著高真空電子管、高精度檢測以及電子成像等現(xiàn)代技術的發(fā)展,對電子管加熱絲材料的阻值均勻性、高溫力學性能以及高溫穩(wěn)定性提出了更加苛刻的要求,對于材料製備工藝的精確…
作爲集成電路中重要的擴散阻擋層,鎢鈦(W-Ti)薄膜雖然有較高的密度和良好的化學穩(wěn)定性,但因爲鎢鈦靶材存有污染物粒子,所以薄膜欠佳。爲了降低靶材的污染物,研究者…