三酸化タングステン薄膜は、エレクトロクロミック層として機能する全固體のスマート窓を組み立てるために使用することができる。ある専門家はWO 3薄膜の光學(xué)性能を研究し、その中で、全固體エレクトロクロミック窓の著色狀態(tài)と漂白狀態(tài)の透過スペクトル曲線は下図のように、動作電圧は±3.5 Vである。
詳細については、次のページを參照してください。
http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
専門家によると、図から分かるように、器用な窓は可視光透過率に対して一定の調(diào)節(jié)能力を持っているが、漂白狀態(tài)の時の透過率は低く、主な原因は最後の層のITO膜の透過率が高くないことである。InSn合金ターゲット直流マグネトロンスパッタリングを用いてITO膜を堆積する場合、高い透過率と電気伝導(dǎo)率を得るために、堆積したITO膜を高溫熱処理するのが一般的である。しかし、WO 3とNiO膜は高溫熱処理されるとエレクトロクロミック性能が損なわれる。したがって、全固體精巧窓裝置の製造において、最後のITO膜は熱処理されていない。また、現(xiàn)在、ITOセラミックターゲットを用いてアニール処理を必要とせずにITO膜を製造する技術(shù)を習得している専門家がいるため、この新しいITO膜を製造する技術(shù)を採用した後、より性能の優(yōu)れた全固體型の器用窓裝置の製造が期待されている。
