新しいエレクトロクロミック窓に用いられるモリブデン添加酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜は、直流スパッタリングにより製造することができる。この點(diǎn)で専門(mén)家は、マグネトロンスパッタリングの過(guò)程で酸素アルゴン比を制御することは非常に重要であると述べている。
詳細(xì)については、
http://www.tungsten-powder.com/japanese/tungsten-oxide.html
専門(mén)家は、スパッタリング中に酸素とアルゴンガスの混合物が真空反応室に導(dǎo)入されると説明している。ここで、酸素は反応ガスとして用いられ、アルゴンは作動(dòng)ガスとして用いられる。ターゲット上の原子をアルゴンイオンが衝突させて基材に飛翔させると、それらは真空チャンバで酸素と反応し、基材上に堆積した新しい化合物を形成する。化合物の組成はエレクトロクロミック性能に大きな影響を與え、化合物の組成を決定する最も重要な要素は酸素とアルゴンガスの割合である。したがって、マグネトロンスパッタリングにおいて、酸素アルゴン比は非常に重要な要素である。
