脈沖準(zhǔn)分子激光濺射沉積法制備三氧化鎢薄膜

三氧化鎢（WO3）薄膜作為一種重要的功能薄膜材料，在商業(yè)、生活和國防等實(shí)際中具有廣泛的應(yīng)用前景。最早對(duì)WO3的研究主要集中于它的電致變色性能，近年來對(duì)它的光致變色和氣致變色較為關(guān)注，主要用于氣體傳感器和光纖傳感器。這兩種儀器較傳統(tǒng)儀器具有更好的安全性，選擇性，精確性，因而具有重大的學(xué)術(shù)意義和廣闊的應(yīng)用前景。本文介紹了脈沖準(zhǔn)分子激光濺射沉積法制備三氧化鎢的機(jī)理。

脈沖準(zhǔn)分子激光濺射沉積法是20世紀(jì)80 年代后期發(fā)展起來的新型薄膜技術(shù)。它的工作原理是利用強(qiáng)激光脈沖照射到靶材上溶解靶材使之變?yōu)榈入x子體，等離子體然后從靶材向基片傳輸，在基片上凝聚、成核最后形成薄膜。該技術(shù)是一種新的薄膜制備方法，對(duì)沉積成分復(fù)雜、性能要求較高的薄膜很有優(yōu)勢。目前由于它已成功地應(yīng)用到高溫超導(dǎo)薄膜的制備，受到越來越廣泛的關(guān)注。其中超快脈沖激光沉積法成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)。

脈沖激光沉積法工藝兼容性好、適應(yīng)性強(qiáng)、沉積速率高，是薄膜制備領(lǐng)域最有應(yīng)用潛力的技術(shù)之一，但用這種方法制備無機(jī)變色薄膜目前還基本處于實(shí)驗(yàn)室階段，尚未用于實(shí)際生產(chǎn)中。