離子鍍法制備三氧化鎢薄膜

三氧化鎢（WO3）薄膜具有良好的變色性能，能適用于生活中的許多方面，如：建筑材料、眼睛鏡片、環(huán)境保護(hù)等方面。WO3薄膜由于其實(shí)用性與可發(fā)展性，受到許多學(xué)者的青睞，研制出了多種制備方式，但是遺憾的是部分制備方式只能適用于實(shí)驗(yàn)室，本文介紹采用離子鍍法制備三氧化鎢的機(jī)理。

離子鍍的原理是利用等離子體在薄膜沉積過(guò)程中對(duì)膜料蒸汽分子或原子的作用，提高沉積分子和原子的沉積能量。該技術(shù)是近十幾年來(lái)在真空蒸發(fā)和真空濺射兩種鍍膜技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新的鍍膜技術(shù)。其中低壓反應(yīng)離子鍍技術(shù)是研究較多的一種離子鍍技術(shù)，它是蒸發(fā)鍍膜技術(shù)與電離技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。低壓反應(yīng)離子鍍可提高光學(xué)薄膜的折射率和降低吸收，使薄膜在原始態(tài)和退色態(tài)的透過(guò)率得到提高，同時(shí)薄膜的致密度和附著性得到提高，變色壽命會(huì)提高。低壓反應(yīng)離子鍍的另一優(yōu)點(diǎn)是不用加熱基板。然而，該方法不能制備大面積的薄膜，工藝較為復(fù)雜，成本較高，應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)還需進(jìn)行較大的改進(jìn)。