蒸鍍型鎢舟指的是用于真空蒸發(fā)鍍膜行業(yè)中的鎢舟。
蒸鍍型鎢舟不同于其他類(lèi)型的鎢舟的點(diǎn)在于該類(lèi)型的鎢舟一般由鎢舟蓋和鎢舟本體組成,一般鎢舟蓋上設(shè)有蒸發(fā)圓孔,孔徑為1mm,孔間距可為2mm。鎢舟蓋上的蒸發(fā)孔既能有效防止原料濺出鎢舟,保證了成品質(zhì)量,又節(jié)省了原料,還有利于材料的升華和蒸發(fā),提高鍍膜效率。
鎢舟可作為電阻蒸發(fā)源。它的工作方法是先將鎢舟安裝在兩個(gè)電極中間,在鎢舟中央加上材料,再慢慢的給電極進(jìn)行通電,電流通過(guò)鎢舟后,鎢舟通電發(fā)熱,這些低電壓,大電流會(huì)使高熔點(diǎn)的鎢舟產(chǎn)生熱量,再熱傳導(dǎo)給鍍膜材料,當(dāng)鎢舟的熱量高于鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候,材料就升華或者蒸發(fā)了。
蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華,使之在工件或基片表面析出的過(guò)程。
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