高純致密黃色氧化鎢是一種具有高純度且壓制性能優(yōu)良的黃色粉末。高純致密黃鎢是為了制備具有高純度和超高致密度的WO3靶材。
高純致密WO3靶材的制備需從粉體、成形和燒結(jié)三個方面進(jìn)行研究,而這三個方面的優(yōu)化組合是達(dá)成上述目標(biāo)的必要條件,具體研究內(nèi)容包括:
1.高純度、高燒結(jié)活性且壓制性能優(yōu)良的WO3粉末的制備;采用國產(chǎn)的高純氧化鎢(純度大于99.99%)為原料,采用低能滾動球磨工藝制備實驗粉末,探討球磨破碎機(jī)理以及球磨工藝、球磨介質(zhì)等對粉末粒度、結(jié)構(gòu)和純度等的影響。
2.WO3陶瓷的壓制工藝優(yōu)化。將WO3造粒粉在不同壓力下模壓,分析壓強(qiáng)與壓坯密度的關(guān)系以及壓坯密度的離散性,探討最優(yōu)的壓制工藝。為避免夾雜,采用高硬度、高耐磨性且主要化學(xué)成分為鎢的硬質(zhì)合金鑲嵌模具。
3.WO3陶瓷的燒結(jié)工藝優(yōu)化。為了抑制WO3燒結(jié)過程中的升華,燒結(jié)過程中全程通氧。探討燒結(jié)溫度、和壓坯密度對燒結(jié)致密度的影響,找出最佳的燒結(jié)工藝。
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