電化學(xué)拋光
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硫酸-磷酸-鉻酸體系為電解液,對(duì)鉬片進(jìn)行電化學(xué)拋光。通過(guò)測(cè)定陰極極化曲線,研究了拋光過(guò)程中電壓和電流之間的關(guān)系。表征了拋光前后鉬片的微觀形貌、粗糙度和尺寸等。在2.0 A/cm~2下對(duì)鉬片電化學(xué)拋光30 s,可得到均勻平整、無(wú)明顯坑點(diǎn)的表面,粗糙度由拋光前的0.20μm降至0.05μm。通過(guò)嚴(yán)格控制拋光時(shí)間可有效保證樣品的幾何尺寸精度。
金屬鉬具有良好的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性,在高溫下仍有很高的力學(xué)性能,因此鉬材料在微電子技術(shù)、電真空技術(shù)、國(guó)防工業(yè)方面有著廣泛應(yīng)用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,具有高表面質(zhì)量的鉬材料越來(lái)越受重視,但由于鉬材料室溫強(qiáng)度差、韌性差,采用傳統(tǒng)機(jī)械拋光對(duì)其進(jìn)行表面處理時(shí)容易產(chǎn)生。
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