タングステン針はウエハプローブカードの重要な部分であるので、このプローブカードにタングステンプローブとしても知られている。専門家によれば、ウェハテスト用の主要なツールとしてプローブカードは、通常、回路基板上の試験回路基板および95～105度で曲げられた円錐狀のタングステンニードルで構(gòu)成される。テスト中に、タングステンプローブの先端を被検査ウェハのパッドに直接接觸させ、ウエハのダイの電気的性能試験を?qū)g現(xiàn)する。
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http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html
テスト中、タングステンプローブの先端がウェハパッドに接觸すると、プローブカードのプラットホームは上昇する標(biāo)準(zhǔn)高さを與え、ウエハパッド上にマークを殘す。タングステン針はテーパーであるので，針の先端の直徑は複數(shù)の試験の後，より大きく大きくなる。従來、タングステンプローブがウェハパッド上に貼り付けられている場合には、接觸面積がウェハパッドの1／4を超えてはならない。
