離子注入是近三十年來國際上蓬勃發(fā)展和廣泛應(yīng)用的一種材料表面改性高新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了材料的表面性能的優(yōu)化或可以獲得某些新的優(yōu)異性能。由于此項(xiàng)高新技術(shù)獨(dú)特而突出的特點(diǎn)，在現(xiàn)代集成電路制造中是一項(xiàng)非常重要的技術(shù)。它利用離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的摻雜，改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電性與晶體管結(jié)構(gòu)。
由于在離子注入時(shí)，離子源轉(zhuǎn)換為電漿離子會(huì)產(chǎn)生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發(fā)的時(shí)候也會(huì)產(chǎn)生很大的離子動(dòng)能，一般的金屬很快就會(huì)燒熔。因此，需要質(zhì)量和密度都相對(duì)較大的惰性金屬，以維持離子束的噴發(fā)方向和增加組件耐用度。鎢材料的高溫化學(xué)性能穩(wěn)定，熱變性小和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)，成為了半導(dǎo)體行業(yè)離子注入機(jī)離子源件及耗材的首選，發(fā)射陰極的屏蔽筒、發(fā)射面板、中心固定桿、起弧室內(nèi)絲極板等這些都統(tǒng)稱為離子注入鎢零件。
離子注入工藝
離子注入鎢零件圖片
