Ti摻雜WO3電致變色薄膜可以應(yīng)用于智能窗上。有專家采用脈沖直流反應(yīng)磁控濺射的方法分別制備了WO3與Ti摻雜WO3薄膜，并研究了氧氣分壓對薄膜晶體結(jié)構(gòu)，表面形貌以及電致變色性能的影響，發(fā)現(xiàn)：
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Ti摻雜WO3薄膜結(jié)晶后轉(zhuǎn)變?yōu)榱⒎骄?，?50℃下制備的WO3:Ti薄膜CV曲線200次循環(huán)前后幾乎重合，調(diào)制幅度沒有明顯衰減。隨著氧氣分壓增大，沉積速率降低，WO3:Ti薄膜中氧含量增多，光學(xué)帶隙逐漸減小，薄膜致密性增大；薄膜著色、褪色響應(yīng)時間變短，薄膜變色速率增加；同時，薄膜電致變色循環(huán)穩(wěn)定性先增大后減小，當(dāng)氧氣流量為13sccm時，循環(huán)穩(wěn)定性最佳。
