三氧化鎢薄膜在氣敏傳感器的應用

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氣敏傳感器是一種用于檢測特定氣體的傳感器，其在生物、化學、航空航天、軍事等領域得到了較為廣泛的應用。氣敏傳感器可以將被檢測氣體的種類，濃度以及與濃度有關的信息轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘�，然后根�?jù)這些電信號的特征和強弱來判斷可檢測氣體在被檢測環(huán)境中存在的有關情況，從而到達檢測，監(jiān)控和報警的目的。同時，還可以將檢測到的電信號電路接口與計算機相連接，組成自動的檢測、監(jiān)控和報警系統(tǒng)。wo3是一種常見的氣敏材料，對易揮發(fā)有機氣體(包括乙醇、甲醇、甲烷、甲醛、丙酮等)、氮化物、碳化物、硫化氫、臭氧、氨氣和氫氣等有很高的靈敏度，使其在氣敏檢測方面得到了研究者的深度關注，被認為是最有前景的新型過渡金屬氧化物半導體氣敏材料之一。WO3的薄膜主要應用有瓦斯氣體檢測報警器，呼吸中乙醇的檢測，室內(nèi)煤氣檢測，氟利昂(R11,R12)的檢測等。隨著環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)的需要，WO3作為主要的氣敏傳感器監(jiān)測材料有著非比尋常的優(yōu)點。
WO3基材料作為氣敏材料的應用是美國人Shaver在1967年開始的，他們通過真空蒸發(fā)鎢薄膜，再經(jīng)過600-700℃的高溫加熱得到了三氧化鎢薄膜，然后再噴涂少量的Pt來提高WO3的氣敏性能。M.Stankova等人采用濺射法沉積W03并摻雜了七種不同的物質(zhì)，測試了對H2S,N02,NH3,CO,CH4氣體在不同溫度，不同濃度下的氣敏性能，實驗結(jié)果表明摻雜能提高WO3對某些有害氣體的氣敏性育旨。

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