藍寶石晶體多坩堝熔體生長技術

藍寶石晶體多坩堝熔體生長技術是一種生長藍寶石晶體的熔體生長技術，它包括以下步驟：

(1)采用氧化鋁作為初始原料，經(jīng)干燥、燒結(jié)工藝處理，然后在0.5-5t/cm2的等靜壓下鍛壓成塊；

(2)將步驟(1)得到的壓塊料及經(jīng)過定向的籽晶裝入坩堝中，轉(zhuǎn)移至高溫下降爐內(nèi)，整個系統(tǒng)密封后通電升溫，先后啟動機械泵、擴散泵，抽真空至10-3-10-4Pa，當爐溫到達1500-1800℃時充入惰性保護氣體，繼續(xù)升溫至設定溫度，所述設定溫度在2100-2250℃的范圍內(nèi)；

(3)爐溫達到設定溫度后，保溫4-8小時，通過調(diào)節(jié)爐膛溫度和坩堝位置，使原料及籽晶頂部熔化，實現(xiàn)接種生長，將晶體生長的固液界面溫度梯度設定在10-50℃/cm的范圍內(nèi)，坩堝下降速率控制在0.1-3.0mm/h之間；

(4)待晶體生長結(jié)束后，以25-80℃/h的速度將爐溫降至室溫，對所生長的晶體進行退火處理。