南通同方訂購(gòu)VEECO MOCVD進(jìn)行硅基氮化鎵LED研究
Veeco公司日前宣布南通同方半導(dǎo)體有限公司已收到了Veeco的TurboDisc® K465i™ MOCVD設(shè)備用于研究硅基氮化鎵HB LEDs。該設(shè)備已交付于同方位于中國(guó)南通的新LED技術(shù)研發(fā)中心。
南通同方半導(dǎo)體的總經(jīng)理劉剛博士表示：“目前我們正成功地使用Veeco的MOCVD設(shè)備生產(chǎn)基于藍(lán)寶石襯底的氮化鎵LED，而LED將是我們接下來(lái)幾年科研投資的重要焦點(diǎn)。”
Veeco高級(jí)副總裁Jeff Hawthorne表示：“很多LED客戶正在發(fā)展硅基氮化鎵技術(shù)，該技術(shù)在不犧牲最終產(chǎn)品性能的情況下降低了LED制造成本，提供了加快普及固態(tài)照明的可能。”
據(jù)Veeco公司介紹，K465i的特點(diǎn)是薄膜品質(zhì)高、瑕疵率低，且集成了Veeco的Uniform FlowFlang®技術(shù)，具有出色的均勻性和優(yōu)異的重復(fù)性。采用TurboDisc技術(shù)的設(shè)備維修需求低，從而提供最長(zhǎng)的連續(xù)生產(chǎn)時(shí)間、極低微粒子產(chǎn)生的優(yōu)越性能以及高產(chǎn)量。Veeco并稱K465i提供了易于調(diào)試的快速優(yōu)化工藝，支持最大8英寸的晶圓。日常維護(hù)后機(jī)臺(tái)恢復(fù)迅速。
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