鉬銅(Mo-Cu)合金是由鉬和銅兩種金屬元素所組成的一種材料,英文名為molybdenum copper alloy,具有高強度、高比重、耐高溫、耐電弧燒蝕、斷弧性能好、線膨脹系數(shù)低、加工性能好的特點,適合用于制造軍用大功率微電子器件作為熱沉封接材料。然而,傳統(tǒng)的鉬銅合金箔片卻存在加工性能差、致密度低、導(dǎo)熱性能一般的問題,所以下文將介紹一種綜合質(zhì)量更高的Mo-Cu 合金箔片的制備方法。其具體步驟如下:
1)設(shè)計鉬銅合金箔片中銅和鉬的含量,其中銅的質(zhì)量百分含量為50%,余量為鉬;將設(shè)計含量的銅粉和占設(shè)計含量的鉬銅合金質(zhì)量20%的銅粉,采用高能球磨的方法混合;
2)將球磨后的粉木模壓成10-14mm厚的板杯,得到鉬銅合金壓坯;
3)將壓坯置于氫氣爐中預(yù)燒結(jié),燒結(jié)溫度約為800°C,保溫時間約2小時,得到鉬銅合金板坯;
4)按照所述鉬銅合金箔片的成分配比,步驟2)中壓坯另外所需的銅用銅片代替,取另外所需的銅重量的1.2-1.5倍且與板坯表面尺寸相同的銅片,將銅片置于鉬銅板坯上面并對齊,裝入鉬絲爐中,升溫至1200-1400℃熔滲燒結(jié),保溫2?4小時,即得到設(shè)計合金成分的鉬銅合金板材;
5)將鉬銅合金板材在氮氣氣氛中加熱,經(jīng)熱軋升坯后退火(退火溫度700-900°C)處理,再進(jìn)行冷軋,控制每道次的變形率,得到厚度為0.2-1.0mm的鉬銅合金箔片。