作為集成電路中重要的擴散阻擋層,鎢鈦(W-Ti)薄膜雖然有較高的密度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性,但因為鎢鈦靶材存有污染物粒子,所以薄膜欠佳。為了降低靶材的污染物,研究者…
鎢知識
高純鎢鈦靶材的新制備方法
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三氧化鎢晶體結(jié)構(gòu)
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三氧化鎢(WO3)組成簡單,在不同的溫度下有不同的形貌結(jié)構(gòu),它在-40℃至740℃的溫度之間可產(chǎn)生以下四種晶體結(jié)構(gòu):單斜晶系、三斜晶系、正交晶系和四方晶系。 單…
鎢系高熵合金的生產(chǎn)方法
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鎢系高熵合金包括W-Mo-Nb-Ta-Ti、W-Ni-Co、W-Co-Cr-Fe-Ni、W-Co-Mo-Ni-V、W-Ti-Al-Mo-Si、W-Mo-Nb-Z…