鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜是一種重要的光電功能材料，因具有較高的發(fā)光效率，而廣泛應用于電致發(fā)光器件中。該發(fā)光薄膜的發(fā)光性能除了受鈰、鋇和鎂含量的影響之外，還受生產工藝及工藝參數(shù)的影響。由于當前生產技術欠佳，導致所制成的該發(fā)光薄膜的發(fā)光效率較低，而且操作復雜，成本高。
鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜圖片
為了彌補鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜現(xiàn)有生產技術的不足，專利號為CN103534332B的研究者提出了一種新的生產方法，具體操作如下：將氧化鎂（Mg0）、氧化鋇（Ba0）、三氧化鎢（WO3）及三氧化二鈰（Ce203）混合，燒結形成濺射靶材；進行磁控濺射，形成鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜前體；將該鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜前體進行退火處理，得到鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜。
鎢酸鋇圖片
該生產技術的注意事項包括：1）氧化鎂的質量百分含量為0.2%~10%，氧化鋇的質量百分含量為0.2%~30%、三氧化二鈰的質量百分含量為0.02%~0.6%，余量為三氧化鎢；2）燒結步驟中溫度為900~1300℃；3）濺射步驟條件為：襯底和靶材距離為50~100mm、襯底溫度為 250℃~750℃、氫氣和惰性氣體混合氣體為工作氣體，氣體流量15~30sccm、壓強0.2~4.5Pa；4）退火的溫度為500C~800℃，時間為1-3小時。
利用該生產技術制備的鈰摻雜鎢酸鋇鎂發(fā)光薄膜具有較好的發(fā)光性能，在紅光區(qū)和藍光區(qū)有較強的發(fā)光峰；該方法具有操作簡單、成本低廉，適于工業(yè)化生產的優(yōu)點。
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