作為場發(fā)射電子顯微鏡的核心部件之一，場發(fā)射電子源性能決定著場發(fā)射電鏡中主要的電子光學(xué)性能參數(shù)，它包括電子槍的發(fā)射角電流密度、電子束總發(fā)射電流及電子束的穩(wěn)定度等。為了滿足場發(fā)射電子源亮度高、束流大、束穩(wěn)定性好、電子能量分散小等的要求，需要對(duì)氧化鋯/鎢肖特基場發(fā)射電子源（ZrO/W Schottky）場發(fā)射電子源的單晶鎢絲的針尖做尖化處理，一般要求針尖的曲率半徑在0.5-1.0μm之間。
cn101452797a場發(fā)射電子源結(jié)構(gòu)示意圖
專利號(hào)為CN102339704B的研究者提出了一種獲得曲率半徑在0.5-1.0μm之間的場發(fā)射電子源針尖的制備方法。其具體操作如下：
1）將用天平稱取一定量的氫氧化鈉粉末倒入燒杯，再加入一定量的純凈水，同時(shí)用玻璃棒緩緩攪拌，配制成濃度為3-5mol/L的腐蝕溶液；2）將配好的腐蝕液從U型管的一端倒入U(xiǎn)型管，并插入一個(gè)電極；3）將焊接有單晶鎢絲的陶瓷座固定到帶有測微頭的固定架上，調(diào)節(jié)測微頭，使單晶鎢絲浸入盛有腐蝕液的U型管的一端的液面下一定距離，并將一個(gè)電極放入盛有腐蝕液U型管的另一端的液面下；4）將帶有電極夾和開關(guān)的連接導(dǎo)線與信號(hào)源連通，將一個(gè)電極夾與焊接單晶鎢絲的陶瓷座上的電極連接，另一個(gè)電極夾與U型管的另一端的電極連接；5）打開信號(hào)源，調(diào)節(jié)腐蝕需用的信號(hào)源參數(shù)；6）啟動(dòng)連接導(dǎo)線上的開關(guān)，開始腐蝕；7）腐蝕結(jié)束后，斷開開關(guān)；8）調(diào)節(jié)測微頭，使燈絲陶瓷座上的鎢絲完全退出腐蝕液。
與其他的制造方法相比，交流電化學(xué)腐蝕法更容易被大家采納，主要是因?yàn)槠淇煽貐?shù)多，腐蝕精度高，產(chǎn)品穩(wěn)定良好等。
鎢絲針尖
