三氧化鎢(WO3)是一種n型寬禁帶半導(dǎo)體材料,具有電致發(fā)光等性能,能用來制作電阻元件。三氧化鎢氣敏傳感器是一種將檢測到的氣體成分和氣體濃度轉(zhuǎn)換為電信號的傳感器。
三氧化鎢基氣敏傳感器,具有靈敏度高、響應(yīng)速度快、成本低等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用有害、有毒、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗。
例如:WO3與被測氣體(NOx、H2、CO、NH3、C2H5OH等)中時,從空氣中吸附的氧作為一種電子的受主態(tài)處于WO3材料的禁帶,氣體在其表面的反應(yīng)導(dǎo)致了受主態(tài)在部分表面覆蓋度的變化,從而引起了電導(dǎo)率的變化。
三氧化鎢氣敏傳感器的生產(chǎn)工藝有溶膠凝膠法、真空熱蒸法、脈沖激光沉積、絲網(wǎng)印刷等。
目前,環(huán)境空氣質(zhì)量已經(jīng)引起了人們的廣泛關(guān)注。為了保護和改善環(huán)境提高空氣質(zhì)量,人們迫切地需要研發(fā)高靈敏度、低成本、易維護的氣體傳感器,從而有效地對有害、有毒、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗,化學(xué)氣傳感器因此成為目前研究的熱點?;瘜W(xué)氣體傳感器種類很多,其中金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器由于具有靈 敏度高、響應(yīng)快、成本低等優(yōu)點而被廣泛研究。
從英國開始第一次工業(yè)革命開始,工業(yè)化就對環(huán)境空氣質(zhì)量造成嚴(yán)重的破壞。近些年來,人們保護環(huán)境的意識不斷提高,對空氣質(zhì)量的要求也變高了,除了要改善空氣質(zhì)量之外,也對有害、有毒、易燃、易爆等氣體進行檢測和檢驗。三氧化鎢氣敏傳感器因具有靈敏度高、響應(yīng)快、成本低等優(yōu)點,而被廣泛應(yīng)用。