近期,包頭稀土研究院“真空蒸餾法製備高純稀土金屬鐿及靶材關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目(簡(jiǎn)稱“稀土靶材項(xiàng)目”)榮獲內(nèi)蒙古自治區(qū)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)。這就意味著我國(guó)在高純稀土金屬材料方向的國(guó)際地位能得到提升,同時(shí)高性能電子器件也能擺脫對(duì)美、日、韓等國(guó)家的依賴。
稀土靶材,又稱鍍膜靶材,可以簡(jiǎn)單理解爲(wèi)利用電子或高能激光轟擊靶材,幷使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),幷且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過(guò)程,最終形成薄膜。其因有良好的物理化學(xué)性質(zhì),而廣泛應(yīng)用于新能源汽車、集成電路、新型顯示器、5G通訊等高科技産業(yè)中。
由于受生産技術(shù)不成熟的限制,過(guò)去我國(guó)的稀土靶材大多數(shù)從國(guó)外進(jìn)口,這對(duì)國(guó)産電子裝備的生産極爲(wèi)不利,即不但增加了生産成本,而且靶材供應(yīng)還受到限制。爲(wèi)了解決這個(gè)問(wèn)題,包頭稀土研究院研究者開(kāi)發(fā)了高純度稀土金屬鐿靶材及型材製備技術(shù)的項(xiàng)目,突破了高純度金屬鐿蒸發(fā)材料的低成本、高效率、高品質(zhì)製備工藝技術(shù)。
據(jù)中鎢智造瞭解,優(yōu)化稀土冶煉高真空低氧蒸餾工藝,采用自行設(shè)計(jì)的冷卻接收系統(tǒng)和過(guò)濾系統(tǒng),阻隔輻射熱的同時(shí),淨(jìng)化了蒸餾的金屬鐿。通過(guò)核心工藝的控制,一次蒸餾就可以獲得純度大于99.99%的高純度金屬鐿,稀土直收率最高可達(dá)98%。
稀土靶材項(xiàng)目于2017年底,依托包頭稀土研究院稀土材料中試基地平臺(tái),經(jīng)過(guò)多年中試級(jí)別的産品製造技術(shù)升級(jí)、設(shè)備智能化改造、生産流程質(zhì)量管控及應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,建成一條國(guó)際領(lǐng)先的有機(jī)發(fā)光材料用高純度金屬鐿靶材産品生産綫。項(xiàng)目成果轉(zhuǎn)化至今,靶材産品複合年銷售量增長(zhǎng)10%左右,從2018年開(kāi)始,3年新增利潤(rùn)1000萬(wàn)元以上,新增産值突破4000萬(wàn)元。