前些日子,麻省理工學(xué)院工程師開(kāi)發(fā)了一種新技術(shù)可能大大降低晶圓製造的總體成本,並且能製造比傳統(tǒng)矽材料性能更高的半導(dǎo)體材料器件。
這種新方法的基本過(guò)程是使用石墨烯作為一種“複製機(jī)器”,再將複雜的晶體圖案從下面的半導(dǎo)體晶片轉(zhuǎn)移到相同材料的頂層。這種工藝可用于設(shè)計(jì)未來(lái)的新二維半導(dǎo)體材料晶圓,例如二硒化鎢,二硒化鉬、黑磷等,如果這些新材料未來(lái)會(huì)被應(yīng)用於晶片製造的話。
工程師制定了精心控制的程式,將單張石墨烯放在昂貴的晶圓上。然後他們?cè)谑由仙L(zhǎng)半導(dǎo)體材料。他們發(fā)現(xiàn)石墨烯足夠薄以致看起來(lái)不可見(jiàn),然後頂層的材料透過(guò)石墨烯看到下面的晶體晶片,印記其圖案而不受石墨烯的影響。
石墨烯也相當(dāng)“滑”,並且不容易粘附到其他材料上,使得工程師可以在其結(jié)構(gòu)被印刻後從晶片上簡(jiǎn)單地剝離頂部半導(dǎo)體層。
在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體製造中,一旦晶圓被轉(zhuǎn)移,晶圓與半導(dǎo)體的結(jié)合力非常強(qiáng)幾乎不可能在不破壞兩層的情況下分離。但通過(guò)新技術(shù),製造商現(xiàn)在可以使用石墨烯作為中間層,允許他們複製和粘貼晶圓,從晶圓上分離複製的薄膜,並重複使用晶圓多次。這樣除了節(jié)省晶圓成本之外,這也為探索和研究更多具有潛力的半導(dǎo)體材料提供了機(jī)會(huì)。
至今,半導(dǎo)體行業(yè)一直停留在矽片上,儘管我們已經(jīng)找到了性能更好的半導(dǎo)體材料,例如硒化鎢、但由於成本的原因,我們還沒(méi)有能夠完全開(kāi)發(fā)它們,能實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的半導(dǎo)體不僅是性能,還有成本?!?/p>
在石墨烯被發(fā)現(xiàn)之初,人們希望可以用石墨烯製造出非??焖俚碾娮悠骷?,但事實(shí)證明,理想和現(xiàn)實(shí)永遠(yuǎn)有差距,石墨烯雖然具有超強(qiáng)的導(dǎo)電性,但卻是零帶隙材料,阻止電子流過(guò)石墨烯非常困難,這使得它成為一種優(yōu)秀的導(dǎo)體,但卻是一種不好的半導(dǎo)體。因?yàn)橐胧闺娋w工作,它必須能夠打開(kāi)和關(guān)閉電子的流動(dòng),以產(chǎn)生一個(gè)1和0的模式,指示設(shè)備如何執(zhí)行一組計(jì)算。
因此,研究人員沒(méi)有專注于石墨烯的電性能,而是研究了這種材料的機(jī)械特性。因?yàn)樗且环N非常強(qiáng)大的超薄材料,在水準(zhǔn)方向上原子之間形成非常強(qiáng)的共價(jià)鍵,它的范德華力非常弱,這意味著它不會(huì)與任何垂直方向發(fā)生反應(yīng),這使得石墨烯表面非常光滑。
所以美國(guó)科學(xué)家認(rèn)為,具有超薄特氟隆特性的石墨烯可以?shī)A在晶片和半導(dǎo)體層之間,提供幾乎不可察覺(jué)的不粘表面,通過(guò)該表面,新型半導(dǎo)體材料的原子可以在晶片的晶體圖案中重新排列。材料一旦被印刷,就可以簡(jiǎn)單地從石墨烯表面剝離,使製造商能夠重新使用原始的晶圓。
研究人員已成功地將他們的技術(shù)應(yīng)用于未來(lái)具有潛力的晶圓和半導(dǎo)體材料,包括硒化鎢、硫化鎢、磷化銦,總之,這項(xiàng)新技術(shù)使得製造商可以應(yīng)用于矽片和任何性能更高的材料。
雖然,石墨烯本身很難作為半導(dǎo)體材料,但是卻可以將它應(yīng)用到新半導(dǎo)體的製造工藝中,這項(xiàng)技術(shù)可能徹底改變半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)的薄膜生長(zhǎng),形成新穎的電子和光學(xué)器件應(yīng)用?!闭雇磥?lái),研究人員計(jì)畫(huà)設(shè)計(jì)一個(gè)可重複使用的“母晶片”,創(chuàng)造出多功能,高性能的設(shè)備。以石墨烯作為媒介,不必?fù)?dān)心晶圓的成本,就相當(dāng)於一臺(tái)影印機(jī),可以複印任何的半導(dǎo)體器件,然後剝離它,再重新使用晶圓。
雖然,石墨烯本身很難作為半導(dǎo)體材料,但是卻可以將它應(yīng)用到新半導(dǎo)體的製造工藝中,這項(xiàng)技術(shù)可能徹底改變半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)的薄膜生長(zhǎng),形成新穎的電子和光學(xué)器件應(yīng)用?!闭雇磥?lái),研究人員計(jì)畫(huà)設(shè)計(jì)一個(gè)可重複使用的“母晶片”,創(chuàng)造出多功能,高性能的設(shè)備。以石墨烯作為媒介,不必?fù)?dān)心晶圓的成本,就相當(dāng)於一臺(tái)影印機(jī),可以複印任何的半導(dǎo)體器件,然後剝離它,再重新使用晶圓。