近日，由七一八所與北京理工大學(xué)聯(lián)合研發(fā)的“化學(xué)氣相沉積法製備鎢製品”項(xiàng)目中試生產(chǎn)線調(diào)試成功，並在全國(guó)首次採(cǎi)用化學(xué)氣相沉積法試製出高純鎢坩堝樣品。
該專案是“七一八所?北京理工大學(xué)氣相沉積特種材料研發(fā)中心”的首個(gè)啟動(dòng)專案，特種氣體工程部歷時(shí)近一年完成了生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)及中試生產(chǎn)線的建設(shè)。該項(xiàng)目的成功調(diào)試是七一八所開(kāi)展校企合作的又一成果。
此次調(diào)試成功，標(biāo)誌著整個(gè)研究團(tuán)隊(duì)在化學(xué)氣相沉積製備難熔金屬材料產(chǎn)業(yè)化與關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)方面取得了重要突破，為生產(chǎn)線正式投運(yùn)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。對(duì)形成以鎢坩堝、鎢板、高純半導(dǎo)體離子注入部件等一系列高純鎢製品生產(chǎn)領(lǐng)域，開(kāi)拓難熔貴金屬材料市場(chǎng)，拓寬七一八所特種材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向具有重大意義。
化學(xué)氣相澱積是近幾十年發(fā)展起來(lái)的製備無(wú)機(jī)材料的新技術(shù)，主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。目前已經(jīng)廣泛用於提純物質(zhì)、研製新晶體、澱積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無(wú)機(jī)薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過(guò)氣相摻雜的澱積過(guò)程精確控制。目前，化學(xué)氣相澱積已成為無(wú)機(jī)合成化學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域。
化學(xué)氣相沉積法製備鎢製品是以WF6和H2為原料，通過(guò)氣相反應(yīng)成功地沉積出多種異型緻密鎢製品，具有設(shè)備簡(jiǎn)單，工藝穩(wěn)定可靠，且製品品質(zhì)較高等特點(diǎn)。鎢的化學(xué)物理特性使鎢製品成為某些工業(yè)產(chǎn)品中不可缺少的零件，化學(xué)氣相沉積是獲得價(jià)廉質(zhì)好的鎢製品的一種工藝方法，特別適合於異型製品的製備。
