新型半導(dǎo)體晶片之所以要選用鎢鈦合金靶材來作為擴(kuò)散阻擋層和粘結(jié)層的主要原因是，該合金具有較好的表面附著能力以及優(yōu)異的散熱性能等特點。這樣一來，將能使所製備的產(chǎn)品擁有更高的綜合性能。
鎢鈦合金是一種兼有過渡金屬鎢和鈦的優(yōu)點的合金，其具有較高的密度和純度，較好的耐腐蝕性能以及較小的體積膨脹效應(yīng)等特點，進(jìn)而能有效減少在製造過程中顆粒的形成，即可以成功製備出高品質(zhì)的薄膜。下面將為大家介紹的是一種鎢鈦合金的製備方法。
一種鎢鈦合金的生產(chǎn)方法的具體步驟如下：
（1）先稱取一定量的鎢粉及鈦粉，並在惰性氣氛保護(hù)下混合均勻，其中鎢粉的品質(zhì)百分比為10～65%；
（2）採用機(jī)械壓機(jī)或冷等靜壓機(jī)將步驟（1）所製成的混合材料壓制成坯料；
（3）將步驟（2）所製成的坯料放入真空燒結(jié)爐中進(jìn)行緻密化燒結(jié)；
（4）將步驟（3）所燒結(jié)的鎢鈦材料出爐冷卻後在非自耗真空電弧爐中進(jìn)行熔煉，即可得到產(chǎn)物。
與現(xiàn)有的生產(chǎn)方法相比，該鎢鈦合金的製造方法的優(yōu)勢有：（1）生產(chǎn)工藝簡單，操作方便；（2）採用鎢，鈦粉末的混合原料，壓制，燒結(jié)及電弧熔煉的過程進(jìn)行製備，能有效解決傳統(tǒng)鎢鈦合金製備效率低，材料均勻性和雜質(zhì)含量不易控制的技術(shù)問題；（3）製備出來的鎢鈦合金材料的鎢品質(zhì)百分?jǐn)?shù)為10～60%，適合於批量製備。
