X射線遮罩含鎢複合薄膜，顧名思義，就是具有一定的X射線遮罩性能的含鎢複合物薄膜。據(jù)報(bào)導(dǎo)，這種防輻射薄膜的厚度可控，均勻度高，有效的解決了鎢及鎢合金加工難帶來(lái)的一系列問(wèn)題。
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X射線遮罩含鎢複合薄膜的製備
1.製備溶膠：（1）金屬粉末的固相含量為65wt%，鎢鎳鐵配比為90：7：3，所用鎢粉粒徑2.5um，鎳粉粒徑50um，鐵粉粒徑50um。將所需金屬粉末過(guò)篩，選擇合適粒徑的金屬粉末，將金屬粉末按配比乾燥後混合，通過(guò)球磨機(jī)球磨。（2）依次向松油醇中添加乙酸乙酯、金屬粉末、乙基纖維素、丙三醇、氫化蓖麻油。除金屬粉末外各有機(jī)成分百分比為：75%的松油醇，6%的乙酸乙酯，10%乙基纖維素，6%丙三醇，3%氫化蓖麻油。用高速攪拌機(jī)將漿料混合均勻；將漿料真空脫泡處理後，過(guò)適當(dāng)目數(shù)的目篩，除去其中的大顆粒，得到最終溶膠。
2.製備薄膜：採(cǎi)用勻膠機(jī)進(jìn)行制膜，將上述步驟所得溶膠滴到吸附在託盤上的基體上，控制預(yù)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)速為600r/min，時(shí)間控制在15s，高速轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)速為2000r/min時(shí)間控制在40s進(jìn)行，即可得到X射線遮罩含鎢複合薄膜。
