晶圓探測鎢針指的是專門用於積體電路晶圓測試用的探測針。晶圓測試是對晶片上的每個晶粒進(jìn)行針測,在檢測頭裝上以鎢材料製成的鎢探針,與晶粒上的接點接觸,測試其電氣特性,不合格的晶粒會被標(biāo)上記號,而後當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨立的晶粒時,標(biāo)有記號的不合格晶粒會被淘汰,不再進(jìn)行下一個制程,以免徒增製造成本。
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這意味著晶圓探測鎢針的好壞將在很大程度上影響到產(chǎn)出的積體電路的優(yōu)良率和效率。
鎢針是錐形的,經(jīng)過多次測試後必然會磨損,達(dá)到一定的程度,針頭必然粗到影響測試結(jié)果的準(zhǔn)確性,這時候就需要將鎢針替換掉,也就是說,鎢探針是晶圓測試過程中的耗材。