WO3基O3氣體感測器是通過WO3與被測氣體O3接觸後表面電導(dǎo)發(fā)生變化進(jìn)行檢測。眾所周知,O3已經(jīng)被廣泛應(yīng)用於消毒殺菌、汙水處理等方面。
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但是,空氣中的過量O3(相對體積分?jǐn)?shù)超過10^-7時(shí))會(huì)對人體會(huì)產(chǎn)生一定的危害,也會(huì)損壞衣物、建築材料等其他物質(zhì)材料。所以,在某一些場景中,對空氣中的O3進(jìn)行監(jiān)測是必要手段。WO3基O3氣體感測器就是在這種情況下研製出來的,其對空氣中的O3具有良好的敏感性能。有專家製備了Co摻雜的WO3基氣敏感測器,結(jié)果表明,Co摻雜後使WO3由n型變成了p型並提高了其在O3氣體中的電導(dǎo)。