氣敏感測(cè)器用黃色氧化鎢納米線具有優(yōu)良的氣敏性能。專家表示，如果將黃色氧化鎢納米線與矽納米線複合獲得矽納米線-氧化鎢納米線複合結(jié)構(gòu)，其介面會(huì)形成同型異質(zhì)結(jié)，在NO2氣體中，異質(zhì)結(jié)中耗盡層寬度的增長對(duì)其氣敏性能的提升有著重要的作用。
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矽納米線-氧化鎢納米線複合結(jié)構(gòu)的製備
有專家採用金屬輔助化學(xué)刻蝕和納米球自組裝相結(jié)合的方法在n型單晶矽片上製備出具有高度有序化陣列的矽納米線。隨後用磁控濺射法在矽納米線表面澱積一層金屬鎢薄膜，通過對(duì)其進(jìn)行管式爐熱處理，製備了矽納米線-氧化鎢納米線複合結(jié)構(gòu)。
