W03薄膜的紅外調(diào)制性能分析

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為了對(duì)W03薄膜的紅外調(diào)制性能分析，在ITO玻璃上沉積的W03薄膜在0.1MHZS04溶液中進(jìn)行循環(huán)伏安測(cè)試(圖6.4)，掃描速度為50mVs-1，隨著沉積溫度的升高，WO3薄膜CV曲線中的電流密度呈下降趨勢(shì)，顯示出結(jié)晶程度越好的薄膜其離子存儲(chǔ)能力下降。W03薄膜的著色態(tài)(-1.OV,100s)和褪色態(tài)(+1.0V,100s)在2.5~25um紅外波段的反射光譜如圖6.5所示。8um處是ITO的吸收峰，WO3薄膜在6um(約1600cm-1)和3um(約3400cm-1)處的吸收峰分別是由于H-O-H的彎曲振動(dòng)和O-H的伸縮振動(dòng)造成的。這說明薄膜在薄膜沉積或者取出真空室后會(huì)吸附一定的水分在16~17wm(600~800cm-1)之間的較寬的吸收峰來自于無序W-O-W網(wǎng)絡(luò)的特征吸收，此峰在300℃樣品中變得很不明顯，說明此時(shí)薄膜的結(jié)晶程度較高。在10um(約970cm-1)處的吸收峰對(duì)應(yīng)于薄膜內(nèi)表面的W=O雙鍵的非對(duì)稱性伸縮振動(dòng)。這一吸收峰在晶態(tài)W03薄膜著色之后均變得不明顯，表明薄膜此時(shí)薄膜在紅外波段是不透明的，亦即紅外光無法到達(dá)ITO表面而被WO3薄膜反射或吸收了。室溫沉積的WO3薄膜在8-22um波段的平均調(diào)制范圍僅為10%，而沉積溫度升高之后，薄膜的光譜調(diào)制能力有了較大的提高，特別是在沉積溫度為250℃的薄膜中，反射率平均調(diào)制幅度為35%，其他薄膜的調(diào)制幅度以及在9um處的變色效率在圖6.7中顯示。當(dāng)薄膜沉積溫度升高到300℃時(shí)，薄膜基本失去了紅外調(diào)制性能。根據(jù)黑體輻射理論，薄膜在1至2的波長(zhǎng)范圍的紅外發(fā)射率可由如圖（6.1）計(jì)算。

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