理想能源第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備獲璨圓37臺(tái)應(yīng)用驗(yàn)證合同

上海理想能源有限公司研制開發(fā)的LED核心制造裝備MOCVD設(shè)備成功下線，并與臺(tái)灣璨圓光電公司簽訂了37臺(tái)套設(shè)備應(yīng)用驗(yàn)證合同，為下一步投入市場(chǎng)、大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)。

上海理想能源設(shè)備有限公司利用不到兩年的時(shí)間自主研制了具有單腔產(chǎn)能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應(yīng)腔，及3腔體252片產(chǎn)能的簇式多腔體自動(dòng)化MOCVD系統(tǒng)。新型設(shè)備稱是依據(jù)工藝驗(yàn)證結(jié)果和客戶反饋，在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備，單腔一次可生產(chǎn)84片2英寸外延片，超過主流進(jìn)口設(shè)備。量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升。

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