氧空位氧化鎢，其實就是缺陷態(tài)氧化鎢（WO3-x），其因晶體結(jié)構(gòu)獨特，而具有極為出色的物理化學(xué)性質(zhì)，如氣敏性、濕敏性、光電學(xué)性能等。經(jīng)過這幾年的不懈努力，科學(xué)家終于發(fā)現(xiàn)能有效提高濕敏元件的靈敏度和測量精度的方法，即使用WO3-x半導(dǎo)體材料來作為感濕材料。
濕敏元件是一種檢測空氣濕度的電子元件，其核心濕敏材料對水分子具有較強(qiáng)的吸附能力。
水是一種強(qiáng)極性電介質(zhì)，因有很大的電子親和力，使得水分子容易吸附在固體表面并滲透到固體內(nèi)部。利用水分子這一特性制成的濕敏元件可稱為水分子親和力型濕敏元件；而把與水分子親和力無關(guān)的濕敏元件或傳感器稱為非水分子親和力型濕敏元件，像熱敏電阻式濕敏元件和微波濕敏元件等就屬于此類。非水分子親和力型濕敏元件，一般不會有滯后現(xiàn)象，不會受風(fēng)、油、灰塵的影響，具有靈敏度高、響應(yīng)速度快的優(yōu)點，適合應(yīng)用于絕對濕度表、相對濕度表、水分計和露點計等許多方面。
根據(jù)組成材料的不同，水分子親和力型濕敏元件又可以分為很多種，如碳膜及硒膜元件、金屬氧化物陶瓷元件、金屬氧化物膜元件、高分子材料元件、電解質(zhì)元件、水晶振子元件等。
據(jù)悉，氧空位氧化鎢薄膜有望成為新一代金屬氧化物膜濕敏元件的重要功能性材料，能顯著升高產(chǎn)品的質(zhì)量，使之能更符合未來的發(fā)展趨勢。
