高結(jié)晶度的納米氧化鎢顆粒除了有良好的氣敏效應(yīng)外，還有優(yōu)異的濕敏性能，因此適合應(yīng)用于新一代的高質(zhì)量濕度傳感中。
濕敏元件是最簡單的濕度傳感器。根據(jù)工作原理的不同，其能分為電阻式、電容式兩大類。
濕敏電阻的特點是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測量濕度。根據(jù)組成材料的不同，其種類也非常多，如金屬氧化物濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。它們優(yōu)點是靈敏度高，缺點是線性度和產(chǎn)品的互換性差。
濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等；當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與相對濕度成正比。其主要優(yōu)點有靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實現(xiàn)小型化和集成化，但是缺點是精度一般比濕敏電阻低。
除電阻式、電容式濕敏元件之外，還有電解質(zhì)離子型濕敏元件、重量型濕敏元件、光強型濕敏元件、聲表面波濕敏元件等?，F(xiàn)今，為了進(jìn)一步優(yōu)化電阻式傳感器的綜合性能，其常用納米氧化鎢粉末來作為感濕材料的功能性原料。
