大面積摻鉬WO3電致變色玻璃是現(xiàn)代建筑節(jié)能的一種新的解決方案。其中，作為重要電致變色層材料的鉬摻雜氧化鎢電致變色薄膜可以通過磁控濺射法制備得到。具體的濺射步驟如下：
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將清洗后的FTO導(dǎo)電玻璃導(dǎo)電面朝上置于樣品盤上，用3M膠帶固定。將載有FTO導(dǎo)電玻璃的樣品盤連同靶材一齊放入真空反應(yīng)室，然后開始濺射。首先在大氣狀態(tài)下把濺射室抽真空，使濺射室內(nèi)真空度達(dá)到10^-1Pa。往濺射室內(nèi)充入氣體，Ar2為工作氣體，O2作為反應(yīng)氣體，并通過氣體流量調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)進(jìn)氣量至所需值。先用純氬氣預(yù)濺射10min，以除去靶材表面的污染物，預(yù)濺射結(jié)束后開始正式濺射。通過直流濺射的方法制備氧化鎢電致變色薄膜。其中，濺射過程的參數(shù)：濺射靶材為鉬摻雜氧化鎢靶材；襯底為FTO導(dǎo)電玻璃；工作氣體采用Ar2；Ar2氣體流量為70sccm；反應(yīng)氣體采用O2；O2氣體流量為1-4sccm；基底溫度為室溫；濺射氣體壓強(qiáng)為2.4Pa；濺射功率為60W；濺射時間為0.5h；工作電壓為300V；工作電流為0.2A。
