智能窗用三氧化鎢電致變色薄膜可以通過(guò)磁控濺射法制備得到。你們可能知道磁控濺射法是一種適用于多領(lǐng)域的薄膜制備方法，便于在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行研究，同樣適用于企業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)。那么，你們可是知道磁控濺射法制備WO3電致變色薄膜的基本方法是什么？
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http://www.tungsten-powder.com/chinese/tungsten_oxide.html
磁控濺射法制備WO3電致變色薄膜的基本方法是：以W或WO3為靶材，工作氣體為Ar或Ar與O2混合氣體，通過(guò)施加高壓，靶材表面產(chǎn)生異常輝光放電，所產(chǎn)生的等離子體以磁場(chǎng)進(jìn)行約束，使Ar+離子以500eV的能量對(duì)靶材進(jìn)行轟擊，以離子形態(tài)從靶材表面剝離出原子以及原子簇，從而在基底表面沉積形成均勻的WO3薄膜。
