三氧化鎢可以用于制備三氧化鎢薄膜，進(jìn)而用于組裝互補(bǔ)型全固態(tài)電致變色窗。那么，這充當(dāng)電致變色層的WO3薄膜該怎么制備呢？有專(zhuān)家通過(guò)電子束蒸發(fā)法制備得到。
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電子束蒸發(fā)技術(shù)制備WO3薄膜
分析純WO3粉末壓結(jié)成直徑1cm的圓柱，作為蒸發(fā)源置于石墨坩堝內(nèi)。襯底為方阻200Ω/ITO膜導(dǎo)電玻璃，經(jīng)10%硫酸浸泡10min后，用去離子水超聲清洗數(shù)次，而后吹干。襯底溫度80℃，蒸發(fā)成膜速率為9nm/min，常規(guī)蒸發(fā)時(shí)間15min。剛蒸發(fā)出來(lái)的W03薄膜呈藍(lán)色。
