氧化鎢薄膜是一種功能膜，應用到建筑玻璃上可以獲得電致變色智能玻璃。有專家為研究不同基片溫度對氧化鎢薄膜結構與性能影響，采用金屬鎢（純度99.9%）作為靶材，使用鍍膜機通過脈沖直流電源在FTO透明導電玻璃基底上反應濺射沉積了WO3薄膜，具體的步驟如下：
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濺射前將鍍膜腔室本底真空抽至低于4.5×10-4Pa，高純氬氣（99.9%Ar）作為工作氣體，高純氧氣（99.9%O2）作為反應氣體，固定工作氣壓1.7Pa，通入Ar流量15sccm，O2流量13sccm，通過改變基片溫度分別為室溫、200℃、300℃、350℃，沉積不同基片溫度的氧化鎢薄膜，薄膜厚度均控制在250±10nm。
