據(jù)報(bào)道，有專家采用脈沖直流反應(yīng)磁控濺射鍍膜方法在FTO透明導(dǎo)電玻璃上制備了不同厚度的晶態(tài)氧化鎢薄膜。專家表示，作為電致變色器件中對(duì)整個(gè)器件變色幅度和著色效率影響最大的陰極變色層，應(yīng)當(dāng)選擇合適的氧化鎢薄膜厚度。
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此外，專家們也講到，所制備的薄膜具有單斜晶系結(jié)構(gòu)，隨著厚度增加，結(jié)晶程度逐漸增強(qiáng)，表面粗糙度逐漸降低。薄膜著色后由單斜晶系WO2.92轉(zhuǎn)變?yōu)榱⒎骄礧O3，產(chǎn)生晶格應(yīng)變，薄膜厚度增加，晶格應(yīng)變先減小后增大，薄膜厚度為250nm時(shí)晶格應(yīng)變最小，厚度增加到300nm薄膜著色產(chǎn)生應(yīng)變明顯增大。不同厚度薄膜著色前后表面粗糙度變化與晶格應(yīng)變一致，粗糙度先減小后增大，250nm處薄膜著色前后表面粗糙度變色最小。在相同驅(qū)動(dòng)電壓下，厚度300nm薄膜褪色時(shí)由于產(chǎn)生的應(yīng)力過大導(dǎo)致鋰離子遷移受阻，一部分W5+無法轉(zhuǎn)變成W6+，不能完全褪色，變色幅度變小同時(shí)著色效率下降。薄膜厚度為250nm附近時(shí)電致變色最佳，有著較高的光學(xué)調(diào)制幅度和變色效率。
