WO3薄膜是一種電致變色薄膜。據(jù)報道，有專家為了研究薄膜厚度對結(jié)構(gòu)、電致變色性能的影響，使用純度為99.95%的金屬鎢作為靶材，在FTO透明導(dǎo)電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基片上使用鍍膜機(jī)通過脈沖直流電源反應(yīng)磁控濺射沉積三氧化鎢薄膜。
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其中，F(xiàn)TO導(dǎo)電玻璃為基片，使用清水吹洗表面灰塵后，使用洗潔精和醋酸清洗基片表面油脂，然后再用去離子水沖洗干凈，最后用高壓干燥氮氣把基片表面殘留水分吹凈。專家通過控制基片運動速率和在陰極下方來回運動次數(shù)，制備了50nm、100nm、150nm、200nm、250nm、300nm等不同厚度的氧化鎢薄膜。
