據(jù)報道,鉭摻雜三氧化鎢薄膜,即W-Ta氧化物納米復合薄膜,具有比單一三氧化鎢薄膜更優(yōu)越的電化學穩(wěn)定性和質(zhì)子傳導性能。但是,同時,對不同鉭摻雜量三氧化鎢薄膜的微結(jié)構(gòu)和電化學性能研究較少。
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因此,有專家采用磁控濺射法制備了不同鉭摻雜濃度的W1-xTaxO薄膜,研究其對氧化鎢薄膜電致變色性能的影響。他們將不同含量Ta摻雜的氧化鎢薄膜表示為W1-xTaxO3,x即為薄膜中Ta元素相對W元素的摻雜量。采用X射線光電子能譜(XPS)方法來測定W1-xTaxO3薄膜樣品中的x值,分別為0%,5%,10%,15%,25%和35%。