結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜可以通過磁控濺射沉積再通過熱處理獲得。通過磁控濺射沉積獲得的是非晶態(tài)三氧化鎢膜，在空氣中分別加熱200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，并保溫30min進(jìn)行熱處理。隨著熱處理溫度的提高，非晶態(tài)三氧化鎢膜的電致變色性能下降。當(dāng)熱處理溫度高于350℃時(shí)，非晶態(tài)轉(zhuǎn)變成結(jié)晶態(tài)。
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著色的結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜在可見光譜范圍（380nm-780nm）及太陽光譜范圍內(nèi)吸收調(diào)制能力低于非晶態(tài)三氧化鎢膜，但是結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜在近紅外區(qū)有較強(qiáng)的反射調(diào)制?；訙氐?20℃以上沉積得到的三氧化鎢膜均為結(jié)晶態(tài)。這種結(jié)晶態(tài)膜的電致變色性能優(yōu)于空氣中熱處理得到的結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜，但兩種膜的變色性能與各自的制備溫度沒有明顯的依賴關(guān)系。在相同的電化學(xué)測(cè)試參數(shù)條件下，結(jié)晶的三氧化鎢膜的變色響應(yīng)速率低于非晶態(tài)膜。
