三氧化鎢,作為重要的功能材料,在變色器件、微型傳感器、聲表面波器件和微流體器件等研究領域備受關注。
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專家表示,在結晶生長優(yōu)化條件下,采用納米技術和先進的鍍膜技術制備出性能優(yōu)異的功能薄膜,這對提高器件性能及其應用意義重大。例如,有專家采用水熱法在包覆劑調控生長中得到結構新穎的氧化鎢納米晶。也有專家利用磁控濺射技術沉積出高質量的氧化鎢薄膜,結合微加工工藝實現(xiàn)了氧化鎢多層膜聲表面波器件的性能優(yōu)化,并將該類聲波器件用于傳感器和微流體液滴控制研究。