貴金屬摻雜氧化鎢，如Pt摻雜氧化鎢、Pd摻雜氧化鎢以及Au摻雜氧化鎢等等，相較于無摻雜氧化鎢，其對NO2、CO、H2S、丙酮氣體等化工場所空氣污染的主要來源的靈敏度都有所提升。
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有專家采用直流濺射法在WO3中分別摻雜Pt、Pd及Au制備氣體傳感器。他們經(jīng)過對比測試，結(jié)果表明，Au摻雜WO3薄膜對NO2的靈敏度由無摻雜時的17x10-6提高到69x10-6，而Pd摻雜WO3薄膜對NO2的靈敏度由無摻雜時的17x10-6提高到24x10-6。其中，NO2的最大檢測靈敏度為200x10-6。也就是說，貴金屬摻雜WO3是一種高效的NO2氣敏材料，在高性能低功耗NO2氣敏傳感器應(yīng)用方面表現(xiàn)出巨大的潛力和良好的前景，可以從一定程度上減輕氮氧化物等大氣污染物對人類健康和環(huán)境造成的嚴(yán)重威脅。
