與六氟化鎢（WF6）一樣，六氟化鉬也是由難熔金屬元素和鹵族氟元素組成的一種化合物，均可以應(yīng)用于微電子工業(yè)中作互連綫。鎢和鉬均屬?難熔金屬元素，分別位于周期表中第六周期的VIB族和第五周期的VIB族。
氟化鉬結(jié)構(gòu)圖
從化學(xué)成分上看，六氟化鉬是由一個(gè)正六價(jià)鉬離子（Mo6+）和六個(gè)負(fù)一價(jià)氟離子（F-）組成的一種氟化劑，英文名爲(wèi)Molybdenum Hexafluoride或Molybdenum Fluoride，化學(xué)式爲(wèi)MoF6，分子量爲(wèi)209.95。
物理化學(xué)性質(zhì)方面，六氟化鉬的外觀爲(wèi)白色塊狀結(jié)晶或無色氣體，熔點(diǎn)約17.5℃，沸點(diǎn)約35.0℃，液體密度（17.5l℃）約551kg/m3，氣體密度約7.2kg/m3，蒸氣壓約60.8kPa，不與氧氣、氮?dú)?、空氣、氯氣或二氧化硫氣體發(fā)生反應(yīng)，具有較強(qiáng)的吸濕性、氧化性和腐蝕性，能腐蝕除金和鉑外的所有金屬。值得一提的是，MoF6的毒性主要是由氟引起的，水解産物氟化氫對(duì)眼、皮膚、呼吸道粘膜有刺激作用。吸入後能損傷支氣管、肺泡、肝、腦神經(jīng)系統(tǒng)以及骨和齒。
六氟化鉬結(jié)構(gòu)圖
六氟化鉬的生産步驟：在白金管中放鉬粉末，然後在60℃溫度下通乾燥氟氣；在鉬上面通三氟化溴并加熱到350℃；在空氣的存在下，往MoCl5中通氟氣；再將所得到的産物要冷凝到-70℃，最後在約40℃的溫度下真空蒸餾，可制得精製的MoF6。
六氟化鉬主要用于鉬的同位素分離，或者可微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相澱積矽化鉬或鉬，以製作低電阻、高熔點(diǎn)的互連綫。另外，MoF6在有機(jī)合成領(lǐng)域中也可以用作催化劑，來催化烯烴的氫化、烷基化、環(huán)化等反應(yīng)。
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