四探針測(cè)試儀是一種運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置,其測(cè)試探頭上有用到鎢針。這種鎢針主要採用的是高耐磨碳化鎢針,具有使用壽命長(zhǎng)、定位準(zhǔn)確、遊移率小等特性。
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四探針測(cè)試儀的測(cè)試探頭上的鎢針:根據(jù)儀器名就可以知道,該測(cè)試儀上有四根探測(cè)鎢針;探針間距為1mm;探針主要成分為碳化鎢,直徑為0.5mm。
這種測(cè)試儀主要用於測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率,測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻(方塊電阻)。也就是說,鎢針適用於半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校等對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。