三氧化鎢陶瓷球磨工藝的探索1/4

電致變色用三氧化鎢（WO3）薄膜主要是用電子束蒸鍍方法生產(chǎn)的。制備高質(zhì)量的WO3薄膜，WO3陶瓷是作為蒸鍍靶材是一個優(yōu)先選擇。制備WO3陶瓷包括原料制備—研磨混料—成型—燒結(jié)四個步驟，研磨混料大部分采用低能滾動球磨工藝，本文通過設(shè)置對比實驗與儀器分析得出數(shù)據(jù)，探討球磨破碎機(jī)理以及球磨工藝、球磨介質(zhì)等對粉末粒度、結(jié)構(gòu)和純度等的影響。

研究目的是為了探索具有高純度、高燒結(jié)活性和良好的壓制性能的WO3粉末的制備過程。因此球磨的要點是確保球磨所得的粉末具備高純度的特點。為了避免粉末在球磨過程中引入摻雜，在設(shè)計球磨工藝時，需要分別從可能引入摻雜的幾個方面進(jìn)行考慮，主要包括：球磨方式、磨球、球磨罐等。

球磨方式是采用低能滾動球磨工藝。滾動球磨的球磨方式具有能量低的特點，因此在球磨過程中可以減少球磨介質(zhì)和球磨罐、磨球和磨球以及磨球和粉末之間的碰撞，從而減少摻雜；磨球為直徑7mm氧化鋯。球磨過程中主要考慮的摻雜因素就是磨球。氧化鋯磨球具有硬度高、韌性高、耐磨的有點，而且實驗過程中采用的球磨方式能量低，因而可以減少球磨過程中銀磨球而引入的摻雜；球磨罐材質(zhì)為聚氨酯，聚氨酯材質(zhì)的球磨罐本身比較耐磨，即使在球磨過程中即使有磨損而發(fā)生球磨罐材質(zhì)摻雜，可能的碳、氫、氮雜質(zhì)元素也會在氧化氣氛燒結(jié)過程中消耗掉，有機(jī)溶劑也是一樣。在燒結(jié)過程中也很易揮發(fā)。