氧化鎢NO2氣敏傳感器

20世紀以來，隨著工業(yè)技術的飛速發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的各種氣體污染物大量增加。作為一種強毒性氣體，空氣中的二氧化氮(NO2)已逐漸對人類的健康和安全形成威脅，對NO2氣體的檢測也因此成為近年來研究的熱點。迄今為止，人們已經(jīng)開發(fā)了多種氣敏材料，其中氧化鎢(WO3)被認為是最有潛力的NO2氣敏傳感材料。

多孔氧化鎢薄膜使是氧化鎢(WO3)通過采用直流磁控濺射法在Al2O3基底上淀積了一層金屬鎢薄膜而制備而成的，多孔氧化鎢的平均晶粒尺寸小，且表面疏松多孔,具備更大的比表面積。

因具有多孔氧化鎢的形貌和更小的晶粒尺寸，多孔氧化鎢對NO2表現(xiàn)出更高的靈敏度，更快的響應恢復速度及更低的最佳工作溫度。即使工作在更低溫度下，多孔氧化鎢能表現(xiàn)出更好的恢復性能和更高的靈敏度。而且根據(jù)科學的氣體選擇性測試結果表明：多孔氧化鎢薄膜對NO2具備良好的選擇性。由于多孔氧化鎢具有上述的兩種特性，因此多孔氧化鎢被認為是最合適的NO2氣敏傳感材料。