三氧化鎢薄膜的形成和生長形式
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三氧化鎢薄膜的形成和生長有三種形式:島狀形式、單層生長和層島結(jié)合形式。大多數(shù)薄膜形成和生長都屬于第一種形式,就是在基體表面上吸附的原子凝結(jié)之后,因吸附原子在其表面上擴(kuò)散遷移而形成晶核。核再結(jié)合其它吸附的原子逐漸長大成小島,島再結(jié)合其它原子形成薄膜。因此,薄膜的形成一般分為凝結(jié)過程、核形成與生長過程、島形成與結(jié)合生長過程。
凝結(jié)過程是原子、離子或分子入射到基體表面后,從吸附相到凝結(jié)相的一個(gè)相變過程。
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