中科院IMR訂購(gòu)愛思強(qiáng)BM系統(tǒng)用于碳納米管和石墨烯研究
德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司9月18日宣布，接獲中國(guó)科學(xué)院金屬研究所(IMR)的BM系統(tǒng)訂單。訂單內(nèi)容為一套4英寸晶片規(guī)格的BM Pro PECVD系統(tǒng)，用于碳納米管和石墨烯生產(chǎn)的研究。
該訂單于2012年第一季度接獲，系統(tǒng)將于2012年第三季度交付。愛思強(qiáng)的當(dāng)?shù)胤⻊?wù)支持團(tuán)隊(duì)將在該研究所的先進(jìn)無(wú)塵室設(shè)施中安裝并調(diào)試這套沉積系統(tǒng)。
“我們對(duì)即將交付的新系統(tǒng)充滿期待，它將大大提升我們采用擁有特殊導(dǎo)電性和手性的石墨烯，控制合成碳納米管的能力。”中科院金屬研究所先進(jìn)碳材料研究部的負(fù)責(zé)人成教授介紹說(shuō)，“相信在愛思強(qiáng)BM系統(tǒng)協(xié)助下，我們將有能力生產(chǎn)高質(zhì)量的碳納米管，以及具有良好的結(jié)構(gòu)特性、均勻一致的石墨烯。”
據(jù)愛思強(qiáng)介紹，公司BM系統(tǒng)為碳納米管和石墨烯生產(chǎn)提供整套的解決方案。該系統(tǒng)可以在熱化學(xué)氣相沉積或等離子強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積模式下工作，對(duì)控制碳納米材料的結(jié)構(gòu)非常重要，適用于幾乎所有種類和形態(tài)的碳納米管和石墨烯的生產(chǎn)。
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