Veeco推出三款新系列氮化鎵MOCVD設(shè)備
6月7日，Veeco宣布推出3款新型市場領(lǐng)先的Turbo Disc® MOCVD，用于生產(chǎn)高亮度LED: Turbo Disc Max Bright® M™，Turbo Disc Max Bright MHP™以及Turbo Disc K465i HP™。
Max Bright M: 更緊湊的模塊化Veeco多反應(yīng)腔設(shè)備。與Max Bright相比Max Bright M能提供更好的服務(wù)便利性，廠房面積利用率提高15%。該機(jī)型具有更好的布局配置靈活性以適應(yīng)不同客戶的場地要求。
Max Bright MHP: 模塊化的“M”機(jī)型中的高性能版。Max Bright MHP的片內(nèi)波長均勻性比Max Bright提高了20%。由于技術(shù)進(jìn)步，熱性能和流動性能得到改善，因此良率得以提高。與MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。
K465i HP: 是Veeco的單反應(yīng)腔MOCVD設(shè)備的高性能版。與K465i相比片內(nèi)波長均勻性提高20%而使用成本更低。
這些新設(shè)備均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圓生長�，F(xiàn)有的Max Bright和K465i設(shè)備都能很容易地現(xiàn)場升級到高性能版。所有Veeco的MOCVD設(shè)備都擁有維護(hù)需求低的Turbo Disc技術(shù)，從而具有最長的設(shè)備連續(xù)生產(chǎn)時間和最高產(chǎn)量。
據(jù)調(diào)查，2010年推出的K465i設(shè)備是該年度最暢銷的MOCVD設(shè)備。2011年推出的Max Bright是去年最暢銷的機(jī)臺�；衔锇雽�(dǎo)體雜志最近為Veeco公司頒發(fā)了“化合物半導(dǎo)體制造獎”，評價道“Max Bright設(shè)備是化合物半導(dǎo)體制造業(yè)在過去一年中的最大突破”。
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